GB/T 23414-2009 微束分析 扫描电子显微术 术语

本标准定义了扫描电子显微术（SEM）实践中使用的术语。包括一般术语和按技术分类的具体概念的术语，也包括已经在ISO 23833中定义的术语。

　　本标准等同采用国际标准ISO 22493：2008《微束分析扫描电子显微术术语》(英文版)。
　　为了便于使用，本标准做了下列编辑性修改：
　　——“本国际标准”一词改为“本标准”；
　　——删除国际标准的前言。
　　——“扫描电子显微镜”简称“扫描电镜”。
　　——增加了中文索引。
　　本标准由全国微束分析标准化技术委员会提出并归口。
　　本标准起草单位：中国科学院上海硅酸盐研究所。
　　本标准主要起草人：李香庭、曾毅。