标准编号:GB/T 23611-2009
标准名称:金靶材
英文名称:Gold target
发布部门:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
起草单位:有研亿金新材料股份有限公司、北京达博有色金属焊料有限责任公司
标准状态:现行
发布日期:2009-04-15
实施日期:2010-02-01
标准格式:PDF
内容简介
本标准规定了金靶材要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及订货单(或合同)内容。
本标准适用于制造半导体电子器件用的各类金溅射靶材(以下简称金靶材)。
本标准适用于制造半导体电子器件用的各类金溅射靶材(以下简称金靶材)。
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