标准编号：GB/T 26307-2010
标准名称：银靶
英文名称：Silver target
发布部门：国家质量监督检验检疫总局、国家标准化管理委员会
起草单位：北京有研亿金新材料股份有限公司
标准状态：现行
发布日期：2011-01-14
实施日期：2011-11-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了银靶的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量证明书与订货单（或合同）内容。
本标准适用于半导体器件用的各类银溅射靶材。其他用途的靶材也可参照使用。
本标准适用于半导体器件用的各类银溅射靶材。其他用途的靶材也可参照使用。
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