标准编号：GB/T 26111-2010
标准名称：微机电系统（MEMS）技术 术语
英文名称：Micro-electromechanical system technology - Terms
发布部门：国家质量监督检验检疫总局、国家标准化管理委员会
起草单位：中机生产力促进中心、中国电子科技集团第13研究所、清华大学、上海交通大学、中北大学等
标准状态：现行
发布日期：2011-01-10
实施日期：2011-10-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了微机电系统领域所涉及的材料、设计、加工、封装、测量以及器件等方面的通用术语和定义。
本标准适用于微机电系统领域的研究、开发、评测和应用。
本标准适用于微机电系统领域的研究、开发、评测和应用。
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