标准编号：GB/T 26065-2010
标准名称：硅单晶抛光试验片规范
英文名称：Specification for polished test silicon wafers
发布部门：国家质量监督检验检疫总局、国家标准化管理委员会
起草单位：宁波立立电子股份有限公司、杭州海纳半导体有限公司
标准状态：现行
发布日期：2011-01-10
实施日期：2011-10-01
标准格式：PDF
内容简介
本规范规定了半导体器件制备中用作检验和工艺控制的硅单晶试验片的技术要求。
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