标准编号：GB/T 17874-2010
标准名称：电子工业用气体 三氯化硼
英文名称：Gases for electronic industry - Boron trichloride
发布部门：国家质量监督检验检疫总局、国家标准化管理委员会
起草单位：西南化工研究设计院、上海华爱色谱分析技术有限公司、光明化工研究设计院
标准状态：现行
发布日期：2011-01-14
实施日期：2011-05-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了三氯化硼的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。
本标准适用于以粗制三氯化硼为原料，采用吸附、精馏等方法提纯制得的三氯化硼，主要用于半导体器件生产所用的扩散、离子注入、干法蚀刻等工艺。
本标准适用于以粗制三氯化硼为原料，采用吸附、精馏等方法提纯制得的三氯化硼，主要用于半导体器件生产所用的扩散、离子注入、干法蚀刻等工艺。
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