标准编号：GB/T 25755-2010
标准名称：真空技术 溅射离子泵 性能参数的测量
英文名称：Vacuum technology - Sputter-ion pumps - Measurement of performance characteristics
发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
起草单位：北京中科科仪技术发展有限责任公司、沈阳真空技术研究所
标准状态：现行
发布日期：2010-12-23
实施日期：2011-10-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了溅射离子泵性能参数的测量方法。本标准适用于名义体积流率大于10L/s的离子泵。本标准测量体积流率的压力范围从1.5×10Pa到1×10Pa。
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