GB/T 17359-2012 微束分析 能谱法定量分析

本标准规定了用安装在扫描电镜（SEM）或电子探针（EPMA）上的能谱仪对试样上特定点或特定区域进行定量分析的方法。定量分析是指用百分数（质量分数）表示元素的含量。正确鉴别试样中所有元素是定量分析中必不可少的组成部分，因此，本标准也包含这方面的内容。本标准提供了多种能谱法定量分析方法，本标准适用于利用参考物质或"无标样"程序对质量分数高于1％的元素进行定量分析。本标准对原子序数大于10的元素的分析置信度更高。
　　
　　本标准也规定了对原子序数小于11的轻元素的分析方法。