标准编号：GB/T 29852-2013
标准名称：光伏电池用硅材料中P、As、Sb施主杂质含量的二次离子质谱测量方法
英文名称：Test method for measuring Phosphorus, Arsenic and Antimony in silicon materials used for photovoltaic applications by secondary ion mass spectrometry
发布部门：国家质量监督检验检疫总局、国家标准化管理委员会
起草单位：信息产业专用材料质量监督检验中心、中国电子技术标准化研究院、国家电子功能与辅助材料质量监督检验中心、天津市环欧半导体材料技术有限公司
标准状态：现行
发布日期：2013-11-12
实施日期：2014-04-15
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了用二次离子质谱仪（SIMS）测定光伏电池用硅材料中磷、砷和锑含量的方法。
本标准适用于光伏电池用硅材料中施主杂质磷、砷和锑含量的定量分析，其中磷、砷和锑的浓度均大于1×1014atoms/cm3。
本标准适用于光伏电池用硅材料中施主杂质磷、砷和锑含量的定量分析，其中磷、砷和锑的浓度均大于1×1014atoms/cm3。
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