标准编号：GB/T 29056-2012
标准名称：硅外延用三氯氢硅化学分析方法 硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷和锑量的测定 电感耦合等离子体质谱法
英文名称：Trichlorosilane for silicon epitaxy - Determination of boron，aluminium，phosphorus，vanadium，chrome，manganese，iron，cobalt，nickel，copper，molybdenum，arsenic and antimony content - Inductively coupled plasma mass spectrometric method
发布部门：国家质量监督检验检疫总局、国家标准化管理委员会
起草单位：南京中锗科技股份有限公司、南京大学现代分析中心、南京大学国家863计划新材料MO源研究开发中心
标准状态：现行
发布日期：2012-12-31
实施日期：2013-10-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了用电感耦合等离子体质谱仪测定硅外延用SiHCl3中硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷、锑等痕量元素含量的方法。
本标准适用于硅外延用三氯氢硅中硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷、锑等含量的测定。
本标准适用于硅外延用三氯氢硅中硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷、锑等含量的测定。
下载地址