标准编号:JC/T 2064-2011
标准名称:半导体用透明石英玻璃棒
英文名称:Transparent quartz rods for semiconductor
发布部门:中华人民共和国工业和信息化部
起草单位:久智光电子材料科技有限公司
标准状态:现行
发布日期:2011-12-20
实施日期:2012年7月1日
标准格式:PDF
内容简介
本标准规定了半导体用透明石英玻璃棒的术语和定义、分类和标记、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。
本标准适用于半导体行业生产中使用的透明石英玻璃棒。冶金、化学工业用透明石英玻璃棒也可参照本标准。
本标准适用于半导体行业生产中使用的透明石英玻璃棒。冶金、化学工业用透明石英玻璃棒也可参照本标准。
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