标准编号：GB/T 11164-2011
标准名称：真空镀膜设备通用技术条件
英文名称：Vacuum coating plant generic specification
发布部门：国家质量监督检验检疫总局、国家标准化管理委员会
起草单位：北京北仪创新真空技术有限责任公司、上海曙光机械制造厂有限公司、兰州真空设备有限责任公司、成都南光机器有限公司、中国航天科技集团第五研究院510研究所等
标准状态：现行
发布日期：2011-11-21
实施日期：2012-03-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了真空镀膜设备的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存等要求。
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