标准编号：GB/T 28276-2012
标准名称：硅基MEMS制造技术 体硅溶片工艺规范
英文名称：Silicon-based MEMS fabrication technology - Specification for the dissolved wafer process
发布部门：国家质量监督检验检疫总局、国家标准化管理委员会
起草单位：中国电子科技集团第十三研究所、中机生产力促进中心、北京大学、中国科学院上海微系统与信息技术研究所
标准状态：现行
发布日期：2012-05-11
实施日期：2012-12-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了采用体硅溶片加工工艺进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求和工艺评价规范。
本标准适用于体硅溶片工艺的加工和质量检验。
本标准适用于体硅溶片工艺的加工和质量检验。
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