标准编号：GB/T 28632-2012
标准名称：表面化学分析 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱 横向分辨率测定
英文名称：Surface chemical analysis － Auger electron spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy － Determination of lateral resolution
发布部门：国家标准化管理委员会
起草单位：上海市计量测试技术研究院、纳米技术及应用国家工程研究中心
标准状态：现行
发布日期：2012-07-31
实施日期：2013-02-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准描述了三种在规定条件下测量俄歇电子能谱仪和X射线光电子能谱仪横向分辨率的方法。
直边法适用于横向分辨率预期值大于1 m的仪器。
栅格法适合于横向分辨率预期值大于20 nm，小于1 m的仪器。
金岛法则适用于横向分辨率预期值小于50 nm的仪器。
直边法适用于横向分辨率预期值大于1 m的仪器。
栅格法适合于横向分辨率预期值大于20 nm，小于1 m的仪器。
金岛法则适用于横向分辨率预期值小于50 nm的仪器。
下载地址