标准编号：GB/T 28634-2012
标准名称：微束分析 电子探针显微分析 块状试样波谱法定量点分析
英文名称：Microbeam analysis - Electron probe microanalysis - Quantitative point analysis for bulk specimen using wavelength dispersive X-ray spectroscopy
发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
起草单位：中国科学院上海硅酸盐研究所
标准状态：现行
发布日期：2012-07-31
实施日期：2013-02-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了应用电子探针或者扫描电镜（SEM）的波谱仪（WDS），通过电子束与试样相互作用产生的X射线对试样微米尺度体积内的元素进行定量分析的要求。
本标准适用于电子束垂直入射，要求定量分析的块状试样表面平滑、均匀。对仪器和数据处理软件没有特殊的要求。使用者应该从仪器制造厂家获得仪器安装条件、详细的操作程序及仪器说明书。
本标准适用于电子束垂直入射，要求定量分析的块状试样表面平滑、均匀。对仪器和数据处理软件没有特殊的要求。使用者应该从仪器制造厂家获得仪器安装条件、详细的操作程序及仪器说明书。
下载地址