标准编号：GB/T 29658-2013
标准名称：电子薄膜用高纯铝及铝合金溅射靶材
英文名称：High-Purity sputtering aluminium and aluminium alloy target used in electronic film
发布部门：国家质量监督检验检疫总局、国家标准化管理委员会
起草单位：有研亿金新材料股份有限公司、宁波江丰电子材料有限公司、新疆众和股份有限公司
标准状态：现行
发布日期：2013-09-06
实施日期：2014-05-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了电子薄膜制备用高纯铝及铝合金靶材的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输存贮、订货单（或合同）等内容。
本标准适用于电子薄膜用各类高纯铝及铝合金溅射靶材。
本标准适用于电子薄膜用各类高纯铝及铝合金溅射靶材。
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