标准编号：GB/T 29190-2012
标准名称：扫描探针显微镜漂移速率测量方法
英文名称：Measurement methods of drift rate of scanning probe microscope
发布部门：国家质量监督检验检疫总局、国家标准化管理委员会
起草单位：中国科学技术大学、上海市计量测试技术研究院
标准状态：现行
发布日期：2012-12-31
实施日期：2013-06-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了 SPM 漂移速率的术语和定义、缩略语、测量步骤、性能参数规格，及基于 SPM 扫描图像的漂移速率测量基本方法。
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