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GB/T 11446.6-2013 电子级水中二氧化硅的分光光度测试方法

标准编号:GB/T 11446.6-2013
标准名称:电子级水中二氧化硅的分光光度测试方法
英文名称:Test method for SiO2 in electronic grade water by spectrophotometer
发布部门:国家质量监督检验检疫总局、国家标准化管理委员会
起草单位:信息产业部专用材料质量监督检验中心、中国科学院半导体研究所、中国电子技术标准化研究院、中国电子科技集团公司第四十六研究所
标准状态:现行
发布日期:2013-12-31
实施日期:2014-08-15
标准格式:PDF
内容简介
本标准规定了电子级水中二氧化硅的分光光度测试方法。
本标准适用于电子级水中二氧化硅的测定,其中检出限为1μg/L。
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