标准编号：GB/T 32814-2016
标准名称：硅基MEMS制造技术 基于SOI硅片的MEMS工艺规范
英文名称：Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for criterion of the SOI wafer based MEMS process
发布部门：国家质量监督检验检疫总局、国家标准化管理委员会
起草单位：西北工业大学,中机生产力促进中心
标准状态：现行
发布日期：2016-08-29
实施日期：2017-03-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了采用SOI硅片进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求和质量检验要求。
本标准适用于硅基MEMS制造技术中基于SOI硅片的MEMS器件的加工和质量检验。
本标准适用于硅基MEMS制造技术中基于SOI硅片的MEMS器件的加工和质量检验。
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