标准编号：GB/T 30652-2014
标准名称：硅外延用三氯氢硅
英文名称：Trichlorosilane for silicon epitaxial
发布部门：国家质量监督检验检疫总局、国家标准化管理委员会
起草单位：中锗科技有限公司、南京国盛电子有限公司、南京中锗科技股份有限公司
标准状态：现行
发布日期：2014-12-31
实施日期：2015-09-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了硅外延用三氯氢硅(SiHCl3)的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存、质量证明书和合同 (或订货单)内容。
本标准适用于以粗三氯氢硅为原料经过提纯而制得的硅外延生长用三氯氢硅。
本标准适用于以粗三氯氢硅为原料经过提纯而制得的硅外延生长用三氯氢硅。
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