标准编号：GB/T 30857-2014
标准名称：蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法
英文名称：Standard test method for thickness and thickness variation on sapphire substrates
发布部门：国家质量监督检验检疫总局、国家标准化管理委员会
起草单位：协鑫光电科技控股有限公司、中国科学院上海光机所、浙江昀丰新能源科技有限公司
标准状态：现行
发布日期：2014-07-24
实施日期：2015-04-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了制备氮化镓薄膜外延片及其他用途的蓝宝石单晶切割片、研磨片、抛光片厚度和厚度变化是否满足标准限度要求的测试方法。
本标准适用于蓝宝石衬底片厚度及厚度变化的测试。
本标准适用于蓝宝石衬底片厚度及厚度变化的测试。
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