标准编号：GB/T 31986-2015
标准名称：电子工业用气体 八氟丙烷
英文名称：Gas for electronic industry-Perfluoropropane
发布部门：国家质量监督检验检疫总局、国家标准化管理委员会
起草单位：国家化学工业气体产品质量监督检验中心(福建)、浙江省化工研究院有限公司、佛山市华特气体有限公司、苏州金宏气体股份有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、中昊光明化工研究设计
标准状态：现行
发布日期：2015-09-11
实施日期：2016-05-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了八氟丙烷的技术要求、试验方法、包装、标志、贮运和安全。
本标准适用于六氟丙烯或七氟丙烷氟化制备，并通过精馏、吸附、催化等工艺提纯的八氟丙烷产品，以及碳和氟直接反应法合成的八氟丙烷产品。它在电子工业等离子蚀刻工艺中作为蚀刻气体或清洗气体。
本标准适用于六氟丙烯或七氟丙烷氟化制备，并通过精馏、吸附、催化等工艺提纯的八氟丙烷产品，以及碳和氟直接反应法合成的八氟丙烷产品。它在电子工业等离子蚀刻工艺中作为蚀刻气体或清洗气体。
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