标准编号：GB/T 32996-2016
标准名称：表面化学分析 辉光放电发射光谱法分析金属氧化物膜
英文名称：Surface chemical analysis-Analysis of metal oxide films by glow-discharge optical emission spectrometry
发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
起草单位：上海市计量测试技术研究院、华东师范大学、中国科学院化学研究所
标准状态：现行
发布日期：2016-10-13
实施日期：2017-09-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了利用辉光放电发射光谱测定金属氧化物膜厚度、单位面积质量和金属氧化物膜化学组成的方法。
本方法适用于测定金属上厚度为1 nm～10000 nm的氧化物膜，氧化物的金属元素包括铁、铬、镍、铜、钛、硅、钼、锌、镁、锰和铝中的一种或多种。其他可测元素还包括氧、碳、氮、氢、磷和硫。
本方法适用于测定金属上厚度为1 nm～10000 nm的氧化物膜，氧化物的金属元素包括铁、铬、镍、铜、钛、硅、钼、锌、镁、锰和铝中的一种或多种。其他可测元素还包括氧、碳、氮、氢、磷和硫。
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