标准编号：GB/T 33922-2017
标准名称：MEMS压阻式压力敏感芯片性能的圆片级试验方法
英文名称：Wafer level test methods for MEMS piezoresistive pressure-sensitive die performances
发布部门：国家质检总局 国家标准委
起草单位：北京大学、中机生产力促进中心、北京必创科技股份有限公司、中国电子科技集团公司第十三研究所、中北大学
标准状态：现行
发布日期：2017-07-12
实施日期：2018-02-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了MEMS压阻式压力敏感芯片（简称压力敏感芯片）的术语和定义、试验条件、试验的一般规定、试验内容和方法。
本标准适用于闭环和开环MEMS压阻式压力敏感芯片性能的圆片级试验。
本标准适用于闭环和开环MEMS压阻式压力敏感芯片性能的圆片级试验。
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