标准编号：GB/T 31351-2014
标准名称：碳化硅单晶抛光片微管密度无损检测方法
英文名称：Nondestructive test method for micropipe density of polished monocrystalline silicon carbide wafers
发布部门：国家质量监督检验检疫总局、国家标准化管理委员会
起草单位：北京天科合达蓝光半导体有限公司、中国科学院物理研究所
标准状态：现行
发布日期：2014-12-31
实施日期：2015-09-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了4H晶型和6H晶型碳化硅单晶抛光片的微管密度的无损检测方法。
本标准适用于4H晶型和6H晶型碳化硅单晶抛光片经单面抛光或双面抛光后、微管的径向尺寸在一微米至几十微米范围内的微管密度的测量。
本标准适用于4H晶型和6H晶型碳化硅单晶抛光片经单面抛光或双面抛光后、微管的径向尺寸在一微米至几十微米范围内的微管密度的测量。
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