标准编号:GB/T 31469-2015
标准名称:半导体材料切削液
英文名称:Semiconductor materials cutting fluid
发布部门:国家质量监督检验检疫总局、国家标准化管理委员会
起草单位:扬州华裕光伏材料有限公司、西安飞讯光电有限公司、扬州市职业大学、东方电气集团峨嵋半导体材料有限公司、中国电子技术标准化研究院
标准状态:现行
发布日期:2015-05-15
实施日期:2016-01-01
标准格式:PDF
内容简介
本标准规定了半导体材料切液的各项技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、储存及运输等要求。
本标准适用于半导体材料线切割加工采用的切削液。
本标准适用于半导体材料线切割加工采用的切削液。
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