标准编号：GB/T 34177-2017
标准名称：光刻用石英玻璃晶圆
英文名称：Quartz glass wafer for lithography
发布部门：国家质检总局 国家标准委
起草单位：中国建材检验认证集团股份有限公司、中建材衡州金格兰石英有限公司、长沙韶光铬版有限公司、中国建筑材料科学研究总院、国家安全玻璃及石英玻璃质量监督检验中心
标准状态：现行
发布日期：2017-09-07
实施日期：2018-08-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了光刻用石英玻璃晶圆(以下简称石英玻璃晶圆)的术语和定义、分类、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。
本标准适用于半导体集成电路、光通讯、微机电系统(MEMS)、光电器件和发光二极管(LED)等光刻工艺中用做衬底的石英玻璃晶圆。
本标准适用于半导体集成电路、光通讯、微机电系统(MEMS)、光电器件和发光二极管(LED)等光刻工艺中用做衬底的石英玻璃晶圆。
下载地址