标准编号:SJ/T 11450-2013
标准名称:单晶炉能源消耗规范
英文名称:Specification for energy consumption norm of silicon single crystal grower
发布部门:工业和信息化部
起草单位:北京七星华创电子股份有限公司、信息产业部节能监测中心
标准状态:现行
发布日期:2013-10-17
实施日期:2013-12-01
标准格式:PDF
内容简介
本标准规定了单晶炉能源消耗指标、计算原则、计算方法和评价原则。
本标准适用于装料量为60kg-150kg的单晶炉。
本标准适用于装料量为60kg-150kg的单晶炉。
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