SJ 21475-2018 磷化铟单晶片几何参数测试方法

本标准规定了磷化铟单晶片直径、主、副参考面长度、厚度、总厚度变化、总指示读数、翘曲度弯曲度等几何参数的测试方法。
本标准适用于50 mm~150mm磷化钢单晶片几何参数测试。