标准编号：GB/T 30901-2014
标准名称：高纯氟化铵溶液
英文名称：High purity ammonium fluoride solution for industrial use
发布部门：国家质量监督检验检疫总局、国家标准化管理委员会
起草单位：浙江凯恒电子材料有限公司、福建省邵武市永飞化工有限公司、鹰鹏集团/宣城亨泰化工科技有限公司、巨化集团技术中心、中海油天津化工研究设计院、国家无机盐产品质量监督检验中心
标准状态：现行
发布日期：2014-07-08
实施日期：2014-12-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了高纯氟化铵溶液的分级、要求、试验方法、检验规则、标志、标签、包装、运输、贮存和安全。
本标准适用于高纯氟化铵溶液。该产品主要应用于集成电路和超大规模集成电路芯片的清洗、蚀刻等行业。
本标准适用于高纯氟化铵溶液。该产品主要应用于集成电路和超大规模集成电路芯片的清洗、蚀刻等行业。
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