标准编号：GB/T 31227-2014
标准名称：原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法
英文名称：Test method for the surface roughness by atomic force microscope for sputtered thin films
发布部门：国家质量监督检验检疫总局、国家标准化管理委员会
起草单位：上海交通大学、纳米技术及应用国家工程研究中心
标准状态：现行
发布日期：2014-09-30
实施日期：2015-04-15
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了使用原子力显微镜（AFM）测量表面粗糙度的方法。
本标准适用于测量溅射成膜方法生成的、平均粗糙度Ra小于100nm的薄膜。
本标准适用于测量溅射成膜方法生成的、平均粗糙度Ra小于100nm的薄膜。
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