标准编号：GB/T 34504-2017
标准名称：蓝宝石抛光衬底片表面残留金属元素测量方法
英文名称：Measurement method for surface metal contamination on sapphire polished substrate wafer
发布部门：国家质检总局 国家标准委
起草单位：天通控股股份有限公司
标准状态：现行
发布日期：2017-10-14
实施日期：2018-05-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了蓝宝石抛光衬底片表面深度为5 nm以内的残留金属元素的全反射X光荧光光谱测试方法。
本标准适用于蓝宝石抛光衬底片表面残留的、在元素周期表中11(Na)～92(U)号（除去铝和氧)，且面密度在10ˇ9 atoms/cmˇ2～10ˇ15 atoms/cmˇ2范围内元素的定量测量。其他用途蓝宝石抛光片表面残留金属元素的测量可参照本标准执行。
本标准适用于蓝宝石抛光衬底片表面残留的、在元素周期表中11(Na)～92(U)号（除去铝和氧)，且面密度在10ˇ9 atoms/cmˇ2～10ˇ15 atoms/cmˇ2范围内元素的定量测量。其他用途蓝宝石抛光片表面残留金属元素的测量可参照本标准执行。
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