标准编号：GB/T 35158-2017
标准名称：俄歇电子能谱仪检定方法
英文名称：Verification method for Auger electron spectrometers
发布部门：国家质检总局 国家标准委
起草单位：厦门大学、清华大学
标准状态：现行
发布日期：2017-12-29
实施日期：2018-11-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了俄歇电子能谱仪(Auger electron spectrometer)的检定方法。
本标准适用于激发源为电子束，且带有溅射清洁用离子枪的俄歇电子能谱仪。
本标准适用于激发源为电子束，且带有溅射清洁用离子枪的俄歇电子能谱仪。
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