标准编号：GB/T 35049-2018
标准名称：真空技术 四极质谱检漏方法
英文名称：Vacuum technology—Leak testing method by quadrupole mass spectrometer
发布部门：国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
起草单位：北京卫星环境工程研究所、合肥智海光电技术有限公司、安徽皖仪科技股份有限公司、沈阳真空技术研究所
标准状态：现行
发布日期：2018-05-14
实施日期：2018-12-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了四种常用的四极质谱检漏方法实施的一般要求，每种检漏方法在应用对象、系统组成、检漏程序等方面的要求以及对检漏文件的要求。
本标准适用于真空行业以及其他行业中采用四极质谱仪进行的泄漏检测工作，适用于部组件级、分系统级以及系统级产品的密封性能测试。
本标准适用于真空行业以及其他行业中采用四极质谱仪进行的泄漏检测工作，适用于部组件级、分系统级以及系统级产品的密封性能测试。
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