标准编号：GB/T 36176-2018
标准名称：真空技术 氦质谱真空检漏方法
英文名称：Vacuum technology—Vacuum leak testing method by helium mass spectrometer
发布部门：国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
起草单位：北京卫星环境工程研究所、安徽皖仪科技股份有限公司、宁波莱宝真空自动化技术有限公司、湖南维格磁流体股份有限公司、沈阳真空技术研究所
标准状态：现行
发布日期：2018-05-14
实施日期：2018-12-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了氦质谱真空检漏方法实施的一般要求，三种常用的氦质谱真空检漏方法在应用对象、系统组成、检漏程序等方面的要求以及对检漏文件的要求。
本标准适用于各行业中采用氦质谱真空检漏方法的部件、组件、分系统级以及系统级产品。
本标准适用于各行业中采用氦质谱真空检漏方法的部件、组件、分系统级以及系统级产品。
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