标准编号：SJ/T 11516-2015
标准名称：薄膜晶体管（TFT）用掩模版规范
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
起草单位：
发布日期：2015-04-30
实施日期：2015-10-01
标准状态：现行
标准格式：PDF
文件大小：2.31 MB
内容简介
主要技术内容包括：1、产品分类；2、技术要求：包括环境要求、材料要求、外观尺寸要求、图形尺寸要求、外观要求、缺陷要求；3、试验方法；4、检验规则；5、标志、包装、运输和储存。
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