SJ/T 31083-2016 真空镀膜设备完好要求和检查评定方法

标准编号：SJ/T 31083-2016

标准名称：真空镀膜设备完好要求和检查评定方法

英文名称：Vacuum coating equipment requirements of readiness and methods of inspection assessment

发布部门：中华人民共和国工业和信息化部

起草单位：中国电子科技集团公司第十三研究所、中国电子节能技术协会、中国电子科技集团公司第五十四研究所

标准状态：现行

发布日期：2016-01-15

实施日期：2016-06-01

标准格式：PDF