标准编号：SJ/T 11502-2015
标准名称：碳化硅单晶抛光片规范
英文名称：Specification for polished monocrystalline silicon carbide wafers
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
起草单位：中国电子科技集团公司第四十六研究所、北京天科合达蓝光半导体有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院、河北同光晶体有限公司
标准状态：现行
发布日期：2015-04-30
实施日期：2015-10-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了碳化硅单晶抛光片的术语和定义、技术要求、试验方法、检验规则以及包装、标志、贮存和运输等内容。
本规范适用于晶型为6H和4H，单面或双面抛光，直径100 mm及以下的碳化硅单晶拋光片。其它晶型或尺寸的碳化硅单晶抛光片可参照使用。
本规范适用于晶型为6H和4H，单面或双面抛光，直径100 mm及以下的碳化硅单晶拋光片。其它晶型或尺寸的碳化硅单晶抛光片可参照使用。
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