标准编号：GB/T 20726-2015
标准名称：微束分析 电子探针显微分析X射线能谱仪主要性能参数及核查方法
英文名称：Microbeam analysis—Selected instrumental performance parameters for the specification and checking of energy dispersive X-ray spectrometers for use in electron probe microanalysis
发布部门：国家质量监督检验检疫总局、国家标准化管理委员会
起草单位：中国科学院地质与地球物理研究所
标准状态：现行
发布日期：2015-10-09
实施日期：2016-09-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了表征以半导体探测器、前置放大器和信号处理系统为基本构成的X射线能谱仪（EDS）特性最重要的性能参数。
本标准仅适用于基于固态电离原理的半导体探测器能谱仪。
本标准规定了与扫描电镜（SEM）或电子探针（EPMA）联用的EDS性能参数的最低要求以及核查方法。至于实际分析过程，在ISO 22309ˇ［2］和 ASTM E1508ˇ［3］中已有规范，不在本标准范围之内。
本标准仅适用于基于固态电离原理的半导体探测器能谱仪。
本标准规定了与扫描电镜（SEM）或电子探针（EPMA）联用的EDS性能参数的最低要求以及核查方法。至于实际分析过程，在ISO 22309ˇ［2］和 ASTM E1508ˇ［3］中已有规范，不在本标准范围之内。
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