标准编号：GB/T 4060-2018
标准名称：硅多晶真空区熔基硼检验方法
英文名称：Test method for boron content in polycrystalline silicon by vacuum zone-melting method
发布部门：国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
起草单位：江苏中能硅业科技发展有限公司、亚洲硅业(青海)有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、峨嵋半导体材料研究所
标准状态：现行
发布日期：2018-09-17
实施日期：2019-06-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了多晶硅中基硼含量的测试方法。
本标准适用于在硅芯上沉积生长的多晶硅棒中基硼含量的测定。基硼含量（原子数）测定范围为0.01×10ˇ13 cmˇ－3～5×10ˇ15 cmˇ－3。
本标准适用于在硅芯上沉积生长的多晶硅棒中基硼含量的测定。基硼含量（原子数）测定范围为0.01×10ˇ13 cmˇ－3～5×10ˇ15 cmˇ－3。
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