标准编号：GB/T 15872-2013
标准名称：半导体设备电源接口
英文名称：Power supply interface for semiconductor equipment
发布部门：国家质量监督检验检疫总局、国家标准化管理委员会
起草单位：中国人民解放军空军雷达学院、工业和信息化部电子工业标准化研究院
标准状态：现行
发布日期：2013-12-17
实施日期：2014-05-15
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了半导体设备电源接口的供电类别，选择电器附件、导线和电缆的要求等。
本标准适用于半导体设备的电源接口。
本标准适用于半导体设备的电源接口。
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