标准编号：GB/T 19921-2018
标准名称：硅抛光片表面颗粒测试方法
英文名称：Test method for particles on polished silicon wafer surfaces
发布部门：国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
起草单位：有研半导体材料有限公司、上海合晶硅材料有限公司、浙江金瑞泓科技股份有限公司、南京国盛电子有限公司、有色金属技术经济研究院、天津市环欧半导体材料技术有限公司
标准状态：现行
发布日期：2018-12-28
实施日期：2019-07-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了应用扫描表面检查系统对抛光片、外延片等镜面晶片表面的局部光散射体进行测试，对局部光散射体与延伸光散射体、散射光与反射光进行区分、识别和测试的方法。
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