标准编号：GB/T 36969-2018
标准名称：纳米技术 原子力显微术测定纳米薄膜厚度的方法
英文名称：Nanotechnology—Method for the measurement of the nanofilm-thickness by atomic force microscopy
发布部门：国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
起草单位：上海交通大学、纳米技术及应用国家工程研究中心
标准状态：现行
发布日期：2018-12-28
实施日期：2018-12-28
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了使用原子力显微术（AFM)测量纳米薄膜厚度的原理、测试条件、设备、样品、测试步骤和数据处理。
本标准适用于表面均匀、平整的纳米范围厚度的无机材料薄膜。较厚的和一些有机薄膜的膜厚测定也可参照执行。
本标准适用于表面均匀、平整的纳米范围厚度的无机材料薄膜。较厚的和一些有机薄膜的膜厚测定也可参照执行。
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