标准编号：GB/T 37254-2018
标准名称：高纯碳化硅 微量元素的测定
英文名称：High purity silicon carbide—Determination of trace elements
发布部门：国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
起草单位：中国科学院上海硅酸盐研究所、宁波伏尔肯机械密封件制造有限公司
标准状态：现行
发布日期：2018-12-28
实施日期：2019-09-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了采用电感耦合等离子体原子发射光谱（ICP-OES)法和电感耦合等离子体质谱（ICP-MS)法测定高纯碳化硅中微量元素含量的方法。
本标准适用于碳化硅质量分数含量大于或等于99.9%的高纯碳化硅材料中铝、砷、钙、铬、铜、铁、汞、钾、镁、锰、钠、镍、铅、硫、钛、锌等16种元素的测定。各元素的测定范围见表1（以质量分数计)。
本标准适用于碳化硅质量分数含量大于或等于99.9%的高纯碳化硅材料中铝、砷、钙、铬、铜、铁、汞、钾、镁、锰、钠、镍、铅、硫、钛、锌等16种元素的测定。各元素的测定范围见表1（以质量分数计)。
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