标准编号：GB/T 16596-2019
标准名称：确定晶片坐标系规范
英文名称：Specification for establishing a wafer coordinate system
发布部门：国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
起草单位：有色金属技术经济研究院、有研半导体材料有限公司、浙江海纳半导体有限公司、浙江省硅材料质量检验中心、上海合晶硅材料有限公司
标准状态：现行
发布日期：2019-03-25
实施日期：2020-02-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了使用直角坐标和极坐标建立晶片正面坐标系、背面坐标系和三维坐标系的程序。
本标准适用于有图形和无图形的晶片坐标系的建立。该坐标系用于确定和记录晶片上的缺陷、颗粒等测试结果的准确位置。
本标准适用于有图形和无图形的晶片坐标系的建立。该坐标系用于确定和记录晶片上的缺陷、颗粒等测试结果的准确位置。
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