标准编号：GB/T 37466-2019
标准名称：氮化镓激光剥离设备
英文名称：Laser lift-off equipment used for GaN
发布部门：国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
起草单位：东莞市中镓半导体科技有限公司、中国电子技术标准化研究院
标准状态：现行
发布日期：2019-06-04
实施日期：2019-10-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了氮化镓激光剥离设备（以下简称“激光剥离设备”)的产品分类和标记、工作条件、要求、检测方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。
本标准适用于利用激光方法将蓝宝石衬底生长的氮化镓（GaN)基外延层进行剥离的设备，氮化铝激光剥离设备可参考本标准。
本标准适用于利用激光方法将蓝宝石衬底生长的氮化镓（GaN)基外延层进行剥离的设备，氮化铝激光剥离设备可参考本标准。
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