标准编号：GB/T 38341-2019
标准名称：微机电系统（MEMS）技术 MEMS器件的可靠性综合环境试验方法
英文名称：Micro-electromechanical system technology—The reliability test methods of MEMS in integrated environments
发布部门：国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
起草单位：东南大学、华为技术有限公司、佛山市川东磁电股份有限公司、中机生产力促进中心、浙江博亚精密机械有限公司、沈阳国仪检测技术有限公司、无锡华润上华科技有限公司、北京大学、中北大学、中国科学院电子学研究所、北京必创科技股份有限公司
标准状态：现行
发布日期：2019-12-31
实施日期：2020-04-01
标准格式：PDF
内容简介
GB/T 38341-2019 微机电系统（MEMS）技术 MEMS器件的可靠性综合环境试验方法;
微机电系统（MEMS）技术 MEMS器件的可靠性综合环境试验方法 GB/T 38341-2019
微机电系统（MEMS）技术 MEMS器件的可靠性综合环境试验方法 GB/T 38341-2019
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