标准编号：GB/T 37416-2019
标准名称：洁净机器人通用技术条件
英文名称：General specifications of clean-room robot
发布部门：国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
起草单位：沈阳新松机器人自动化股份有限公司、北京机械工业自动化研究所有限公司、中国科学院沈阳自动化研究所、东北大学、大连理工大学、沈阳芯源微电子设备有限公司、中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司、北京锐洁机器人科技有限公司、北京北方华创微电子装备有限公司
标准状态：现行
发布日期：2019-05-10
实施日期：2019-12-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了洁净机器人的产品分类、性能、技术要求、试验方法及标志、使用说明书、包装、运输及贮存等。
本标准适用于在洁净室使用的，在大气或真空环境中执行搬运等任务的洁净机器人。
本标准适用于在洁净室使用的，在大气或真空环境中执行搬运等任务的洁净机器人。
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