T/BSPT 001-2018 微纳加工 基于激光诱导应变的大面积表面三维微纳结构加工方法

表面微纳结构展现出许多独特的光电磁等特性，已在许多领域得到了广泛的应用。随着表面科学与工程技术的快速发展，人们对表面结构的复杂性、多级次性、大面积等提出了愈来愈高的要求，这对现有的常规微纳加工技术在成本、工艺、批量生产、精准设计和可控加工等方面提出了新的挑战。近年来，各种新的非常规加工方法不断被探索和发展以期满足这些新的挑战。基于激光诱导应变的加工方法具有可精确设计、可控大面积制造、可实现复杂多级次结构和大批量低成本制造等特点。本标准提供一种基于激光诱导应变的大面积表面三维微纳结构的加工方法的规范。
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