T/BSPT 002-2018 微纳加工 离子束辐照应变诱导三维纳米结构与器件的加工方法

离子束辐照技术可使准直的纳米线或平面的纳米薄膜由于应变而在三维空间产生弯曲或折叠，在构建高性能的三维微纳电子器件、光电器件和光学元件等领域具有重要应用价值。本标准提供一种利用离子束辐照应变诱导技术构筑三维纳米结构与器件的加工方法的规范。
本文件的发布机构提请注意，声明符合本文件时，可能涉及到准直纳米线或平面纳米薄膜形变操控[7.2和7.3条]具体内容与专利号为ZL201110113222.0 [一种制备三维超导微纳器件的方法]和专利号为ZL201210540870.9[基于薄膜材料的三维自支撑微纳米功能结构的制备方法]内容相关的专利的使用。